Proflim 3D是一款基于白光干涉儀的光學輪廓儀，采用相位掃描干涉技術（PSI）對納米級特征進行測量，以及采用垂直掃描干涉技術（VSI）對亞微米至毫米級特征進行測量。 Proflim 3D的程序設置簡單靈活，可以進行單次掃描或多點自動測量，適用于研發和生產環境。
產品描述
Proflim 3D光學輪廓儀是一種非接觸式3D表面形貌測量系統。Proflim 3D白光干涉儀可以埃級分辨率對表面進行高分辨率測量。 該系統支持相位和垂直掃描干涉測量，兩者都是傳統的相干掃描干涉技術（CSI）。Proflim 3D進一步擴展了這些技術，它為新手用戶簡化了程序設置，并且采用最新的干涉技術可以對大臺階高度進行高速測量。
Proflim 3D測量技術的優勢在于測量的垂直分辨率與物鏡的數值孔徑無關，因而能夠在大視野范圍內進行高分辨率測量。測量區域可以通過將多個視場拼接為同一個測量結果而進一步增加。 Proflim 3D的用戶界面創新而簡單，適用于從研發到生產的各種工作環境。
核心性能：覆蓋全場景的測量能力
超寬垂直量程與超高精度
納米至毫米級覆蓋：VSI模式支持50 nm–100 mm的臺階高度測量（如金屬鍍層、光刻膠階梯），PSI模式則實現0–3 μm范圍的0.1 nm分辨率，適用于超光滑光學表面。
重復性卓越：PSI模式下RMS重復性達0.1 nm，VSI為1.0 nm，確保工藝穩定性監控的可靠性。
非接觸式多功能成像
支持0.05%-100%反射率的各類材料（金屬、陶瓷、聚合物、晶圓等）；
可測60°高斜率表面（如菲涅爾透鏡），并兼容曲面、柔性薄膜，避免探針式儀器造成的損傷。
TotalFocus?真彩3D成像技術：即使表面高度差超過物鏡焦深（如曲面透鏡、生物薄膜），仍可生成全聚焦彩色圖像，每個像素精準還原樣品真實顏色與紋理。
復雜表面自適應：
高效大視野掃描
100×100 mm2或200×200 mm2電動XY樣品臺（Profilm3D-200型號），結合10倍物鏡下2 mm大視場，大幅提升檢測效率；
500 μm壓電陶瓷Z軸行程與12 μm/s掃描速度，支持高速拼接測量，適用于晶圓、模具等大面積樣品。
智能操作：從硬件到軟件的革新體驗
一鍵式自動化平臺：
集成4孔物鏡轉塔（5×–100×），配備位置傳感器，切換時自動校準；手動±5°傾角平臺適配非平面樣品。
500萬像素數碼變焦相機支持1X/2X/4X放大，減少物鏡頻繁更換需求。
云互聯智能軟件生態：
Profilm?桌面軟件內置47項ISO/ASME/EUR粗糙度參數，支持自動調平、濾波、臺階高度統計及3D體積分析（如軸承比、FFT頻域轉換）；
ProfilmOnline?云平臺實現跨設備（PC/移動端）數據共享與遠程分析，加速研發協作。
主要功能
· 針對納米級到毫米級特征的相位和垂直掃描干涉測量
· SMART Acquire簡化了采集模式并采用已知最佳的程序設置的測量范圍輸入
· Z-stitching干涉技術采集模式，可用于單次掃描以及編譯多個縱向(z)距離很大的表面
· XY-stitching可以將大于單個視野的連續樣本區域拼接成單次掃描
· 使用腳本簡化復雜測量和工作流程分析的創建，實現了測量位置、調平、過濾和參數計算的靈活性
· 利用已知最佳技術，從其他探針和光學輪廓儀轉移算法
主要應用
· 臺階高度：納米級到毫米級的3D臺階高度
· 紋理：3D粗糙度和波紋度
· 形式：3D翹曲和形狀
· 邊緣滾降：3D邊緣輪廓測量
· 缺陷復檢：3D缺陷表面形貌
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工業應用
· 大學、研究實驗室和研究所
· 半導體和化合物半導體
· LED：發光二極管
· 電力設備
· MEMS：微電子機械系統
· 數據存儲
· 醫療設備
· 精密表面
· 汽車
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