超大樣品兼容性與工業級設計
突破尺寸限制：通過針尖掃描設計結合電動平移臺，可無損測量任意尺寸、重量及形狀的樣品（包括曲面、非平面或超大型工件），解決了傳統AFM“放不進、測不準”的工業難題。
高精度掃描頭：基于FlexAFM研究級掃描頭，配備撓性結構掃描器，提供XY方向100μm掃描范圍，線性誤差<0.1%，Z向噪音控制<35pm，確保納米級分辨率。
全自動化與操作便捷性
智能化平移臺：XYZ全自動移動控制，支持一鍵化操作，快速完成各種樣品表面的二維和三維形貌測量。
雙光學輔助系統：頂視與側視雙500萬像素自動對焦攝像頭，結合激光自動定位設計，實現更換探針后快速精準定位，無需手動調節激光。
工業環境適應性
防震與穩定性：專為嚴苛工業環境設計，通過主動式防震結構抵御外界干擾，在半導體車間等場景中驗證了長期可靠性。
模塊化擴展：支持磁學、電學以及納米操縱等高級功能。
多功能成像模式
支持靜態力/動態力/相對比/磁力/靜電力/開爾文探針/壓電力等多種模式，兼容液體環境測試，適用于材料電學和力學樣本的表征。
24位ADC高速控制處理器
XYZ掃描器范圍：100x100x10μm
噪聲水平：< 35pm
樣品尺寸： 8寸
移動范圍：130mmx130mmx30mm
采樣點：8000x8000
功能與選件：
相位
納米壓痕
靜電力
開爾文
壓電力
磁力
真空吸附
環境控制